Uma empresa estatal sediada em Xanguai iniciou a produção em massa de máquinas de litografia ultravioleta profunda (DUV) por imersão. A meta de saída prevê a entrega de cerca de cinco máquinas em 2026 e aproximadamente 20 unidades em 2027.
As primeiras unidades chegam ainda este ano às fabricantes SMIC, Hua Hong Semiconductor e ChangXin Memory Technologies (CXMT). O projeto reuniu equipes de desenvolvimento de diversas empresas chinesa, como a startup estatal Shanghai Yuliangsheng Technology.
A SMIC testa um equipamento de imersão da Yuliangsheng desde setembro de 2025. A maioria dos componentes dos novos sistemas já possui origem doméstica, apesar de as peças críticas ainda chegarem do Japão. Os atrasos em fornecedores locais limitaram a produção neste ano.
